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SEM扫描电镜的主要操作过程介绍

日期:2024-11-18 10:31:51 浏览次数:28

扫描电镜的主要操作过程可以归纳为以下几个步骤:

一、开机与准备

接通电源:确认扫描电镜及其附属设备(如真空系统、冷却系统)处于正常工作状态。在电镜基座的前面板上找到绿(ON)、黄(STANDBY)、红(OFF)三个按钮,按红钮使电镜通电。

预热系统:按黄钮,真空系统开始工作,整机处于待机状态。约30秒后按绿钮,所有系统开始工作,同时计算机自动启动,注册进入系统。双击SEM扫描电镜操作软件(如SmartSEM)并登录。

扫描电镜.jpg

二、样品制备与放置

样品清洁与干燥:去除样品表面的污垢和油脂,确保样品干燥无水分。可以使用超声波清洗、溶剂擦拭或干燥箱、真空干燥等方法。

固定样品:将样品固定在样品台上,使用导电胶或银浆保证样品的稳定性。对于生物组织等不具备导电性的样品,还需进行导电处理,如喷镀一层金属(如金、铂)或碳,以消除电荷积累。

放置样品:样品室通入氮气后打开舱门,将准备好的样品放置在样品台上,确保样品固定稳固。关闭舱门后,启动真空泵进行抽真空,直至真空度达到要求(如<8×10^-5mba)。

三、参数设置与调整

选择加速电压:根据样品和观测需求选择适当的加速电压,一般为1~30kV。电压越大,产生的电子束流的能量越强,分辨率越高,但视野可能越亮或越暗,需根据样品导电性进行调整。

调节电子束电流:确保适当的成像亮度和分辨率。

设置样品工作距离:一般为1~20毫米,可通过调整样品台高度来实现。

四、观察与成像

低倍率观察:选择低倍率模式,进行样品的初步对焦和定位。使用粗调和细调机制调整焦距,确保图像清晰。

放大倍率调整:逐步提高放大倍率,观察样品的微观结构。在放大过程中,需不断精调聚焦,使图像保持清晰。

调整对比度和亮度:根据图像质量调整对比度和亮度,以获得Z佳成像效果。可以使用自动调节功能或手动调节。

扫描速度选择:选择适当的扫描速度,慢速扫描可获得更高质量的图像。

五、图像记录与处理

捕捉图像:在Z佳成像条件下,捕捉并保存图像。可以同时保存BSE(背散射电子)和SE(二次电子)图像的tif格式到文件夹中。

数据导出:将图像和相关数据导出到计算机,进行后续分析和处理。可以输入文本或对特征物进行测量。

六、关机与清理

关闭电子枪:完成观测后,先关闭电子枪。

样品室放气与取样:样品室放气后取出样品,如需再次观测可重新抽真空。

关闭系统:按提示关闭所有窗口与计算机,按黄钮使整机进入待机状态,稍候再关红钮断开电源。

设备维护:定期检查和维护设备,包括真空系统、电子枪和探测器等部件的清洁与校准工作。

综上所述,SEM扫描电镜的主要操作过程涉及开机准备、样品制备与放置、参数设置与调整、观察与成像、图像记录与处理以及关机与清理等多个环节。每一步操作都需严格按照规程进行以确保成像效果和数据质量。