我们在使用SEM扫描电镜的过程中会遇到常见问题、原因及解决方案分享

扫描电镜的原理：由电子枪发出的电子束在电场的作用下加速，经过三个透镜聚焦成直径为5nm或更细的电子束。该电子束在样品表面进行逐行扫描，激发样品产生出各种物理信号。信号探测器收集这些并按顺序、成比例地转换为视频信号。通过对其中某种信号的捡测，视频放大和信号处理，*终在显示屏上获得能反映样品表面特征的扫描图象。

以下我们在使用SEM扫描电镜的过程中会遇到常见问题、原因及解决方案。

Q1：乙醇分散制样拍形貌，显示基底有一层膜，原因是什么呢？

 答： 形貌显示的类似于膜的原因是乙醇分散后再喷Pt导致的。

Q2：样品中应该不含某元素，但EDS测出来的数据中该元素占比很大，会是什么原因导致的呢？有可能是机器自动识别时识别了错误峰吗？

答： 如果该元素的两个特征曲线均出现了，且没有重叠，元素存在的可能性很大；应该考虑是否样品原料有污染。

Q3: 扫描电镜拍样品截面需注意哪些？如何制样？

答：对于脆性薄片如硅片、玻璃镀膜片等可直接掰断或敲断；对于高分子聚合物，有一定塑性和韧性，需要进行以下处理：

方法1：液氮脆断，将样品在液氮下脆化处理后瞬间折断，可得到较为光滑平整的断面;       

方法2：离子切割，利用离子束抛光仪，通过离子束轰击样品截面，去除墨痕、碎屑和加工应变层;       

方法3：冷冻超薄切片，超薄切片得到的样品，更接近样品固有状态结构，适用于韧性很强目硬度很大的样品，如聚丙烯材料。

Q4：EDS测试中，mapping中产生噪点的原因？

答：mapping不是扫一次，几分钟后出结果，而是从上到下一遍一遍一直扫，会根据反馈的信号，呈现每一次扫到的该元素，随着时间的增长，这些点越来越多，形成一个可以大体描述分布的面。但是有几个问题：     

一、如果该元素含量很低，每一次扫描到的真实点很少，数分钟后叠加出来的点是不真实;     

二、能谱有一定的穿透性，表面没有该元素，但是往下一定厚度时，会形成噪点。     

三、样品稳定性，在打mapping时，电子束打在样品表面，一次mapping扫描时间在3min以上，如果是高倍，样品微米级的震动都会产生很明显的误差。 

Q5: SEM-EDS测试轻元素为什么不准？

答：轻元素主要包括Be、B、C、N、O和F（H、He、Li测不了），其特征X射线能量很低，低能量X射线容易被基底吸收，根据统计原埋进行的定量分析将更加困难。

Q6：测试EDS时为什么有些元素明明含量为0，测mapping却有颜色？

答：以定量数据为准，mapping的元素分布图中可能只是噪点。