SEM扫描电镜中光阑几个类别的介绍

1、栅极光阑：电子枪偏压主要加在栅极帽上，而且栅极光阑尺寸和形状对于电子源的尺寸形状乃至亮度都有影响。因为钨灯丝电子枪灯丝温度一般为2000℃以上，而且距离栅极光阑高度不超过150微米，所以栅极光阑采用耐高温的钽材料制成孔径为500μm的ZX对称的圆形。由于偏压的存在，高能电子束不接触光阑。一般清洗只需要用氨水和酒精，氧化钨沉积污染。栅极光阑对中一般采用机械对中，即电子枪乃至高压电缆整体移动。

2、阳极光阑和聚光镜光阑：从电子源发射的电子束，几乎都可以通过阳极光阑，进入电磁聚光镜，电子束经过聚光镜聚光后，通过聚光镜光阑，进入物镜。阳极光阑在正常情况下，受到的电子轰击一般不是很严重因此寿命较长;聚光镜因为是强激励，焦距很短，因此轰击在聚光镜光阑上的电流密度较小寿命也较长。这两个光阑孔设计为300μm。能够很好满足电子光学高分辨需要。

光阑对中：通常这两个光阑安装在一个真空密封衬管的两端，通过零件的机械精度进行定位。

3、物镜光阑：末级光阑和工作距离共同决定作用在样品上的孔径角，大多数扫描电镜的物镜光阑，设置多个孔径，在镜筒外通过光阑杆可以调节。大多在光阑杆上排列安装3-4个光阑，孔径多为200μm，150μm、100μm、50μm。

光阑越小，孔径角度越小，景深越大。光阑越小，降低了透镜像差的影响，Z小电子束斑尺寸越小。光阑越小，Z终束斑电流越小。与电子束高斯斑直径无关。

物镜光阑对中：

①手动对中：所有操作均为手动;

②摇摆对中：物镜聚焦采用摇摆器自动在一定小范围内，反复连续改变焦距。

SEM扫描电镜所有光阑的对中目的都是避免轴外电子聚焦形成不良电子斑，尤其物镜光阑，如合轴不良，将会产生巨大象散，以及受到更大像差的影响。很大程度降低扫描电镜的分辨率。如果光阑孔变得不圆，那么相当于轴外电子进入电磁透镜聚焦，这些电子将不会和大多数电子一样聚焦在高斯平面，如果经过多次清洗后的光阑，使用效果无法接受，只能更换。