SEM扫描电镜样品测试的优点

扫描电镜对样品微区结构的观察和分析具有简单、易行等特点 ，是目前应用得*为广泛的一种试样表征方式，它相比于光学显微镜和透射电镜有其特有的优势。

1、景深长，视野大

SEM扫描电镜物镜使用小孔视角和长焦距因而景深较大。 相同放大倍数时扫描电镜景深比透射电镜大且比光学显微镜大很多。 SEM扫描电镜中二次电子的产生量和电于束入射角度在试样表面上的涨落有一定关系，因此，扫描电镜成像立体感较强，可以用来观察试样三维立体结构。

2、样品制备

简单SEM扫描电镜的样品室较大，可观察大到200毫米，高为几十毫米的样品。扫描电镜的样品制备相比透射电镜而言要简单得多 ，样品可以是断口，块体，粉体等。对于导电的样品只要大小合适即可直接观察，对于不导电的样品需在样品表面喷镀一层导电膜（ 通常为金、铂或碳）后进行观察。现代发展起来的低压SEM扫描电镜和环境扫描电镜可以对不导电样品，生物样品等进行直接观察，极大地扩展了扫描电镜的应用范围。

3、分辨本领高，倍率连续可调

SEM扫描电镜具有很高的分辨率 ，普通扫描电镜的分辨率为几纳米，场发射扫描电镜的分辨率可达1nm ，已十分接近透射电镜的水平。光学显微镜只能在低倍率下使用，而透射电镜只能在高倍率下使用，SEM扫描电镜可以在几倍到几十万倍的范围内连续可调，弥补了从光学显微镜到透射电镜观察的一个很大的跨度，实现了对样品从宏观到微观的观察和分析。

4、综合分析能力强

扫描电镜可以对样品进行旋转，倾斜等操作，能对样品的各个部位进行观察 。此外，SEM扫描电镜可以安装不同的检测器（如能谱仪（EDS），波谱仪（WDS）以及电子背散射衍射（EBSD）等）来接收不同的信号，以便对样品微区的成分和晶体取向等特性进行表征。此外，还能在扫描电镜中配置相应附件，对样品进行加热，冷却，拉伸等操作并对该动态过程中发生的变化进行实时观察。