SEM扫描电镜无图像故障的分析及处理方法介绍

SEM（扫描电子显微镜）无图像故障可能由多种原因造成，以下是一些可能的原因及相应的处理方法：

电子束问题：

原因：电子束太弱或没有电子束产生。

处理方法：

检查电子枪是否工作正常，确认灯丝是否完好。

检查电子束加速电压是否稳定且设置正确。

清理电子枪及其周围的污染物，确保电子束传输通畅。

闪烁体问题：

原因：闪烁体在长时间高束流的照射下性能降低或受到机械损伤。

处理方法：

更换闪烁体。

检查闪烁体的安装位置和固定方式，确保无机械损伤。

电压问题：

原因：提供给捕集极的电压（PMR）没有或降低，或光电倍增管失效、提供给它的电压（PMO）没有或降低。

处理方法：

检查电源供应是否正常，确认相关电压值是否稳定且设置正确。

检查线路连接，确保无断路或短路。

如有必要，更换光电倍增管。

视频信号处理问题：

原因：前置放大器发生故障或增益太小，视频放大和处理系统发生故障或增益太小。

处理方法：

检查前置放大器和视频放大及处理系统的电路连接，确保无断路或短路。

检查放大器的增益设置，根据需要调整。

如有必要，更换损坏的部件。

显示问题：

原因：视频信号没有加到显示器（CRT）的阴极上。

处理方法：

检查视频信号线是否连接正确，无断路或短路。

检查显示器（CRT）是否工作正常，确认阴极是否完好。

机械问题：

原因：样品室或镜筒内存在污染或机械故障。

处理方法：

清理样品室和镜筒内的污染物。

检查机械部件是否完好，如有损坏及时更换。

其他问题：

原因：可能是真空度不足、扫描线圈故障、电路板故障等。

处理方法：

检查真空系统，确保真空度达到要求。

检查扫描线圈和电路板，确认无故障。

如有必要，联系厂家或专业维修人员进行维修。

在处理SEM无图像故障时，需要根据具体情况逐一排查可能的原因，并采取相应的处理方法。同时，为了确保SEM的稳定运行和延长使用寿命，建议定期进行维护和保养。